微型电池的研究进展
随着MEMS(微电子机械系统)技术的发展,与之相关的微能源技术也日益受到重视.MEMS一方面是指运用微电子加工技术和微机械加工技术在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行器,微电子元件,电路和供能部件的器件和系统.另一方面,是指一种全新的工艺技术,采用它比采用传统工艺制造加工的产品具有更高的灵敏度,分辨率和稳定性,并且生产效率高,能耗低.本文探讨了微型电池的研究进展。
微型电池 微能源技术 微电子加工 微机械加工
吴菲 唐致远
天津大学化工学院,天津,300072
国内会议
长沙
中文
300-301
2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）