负性光敏凝胶薄膜上的衍射光栅制备工艺研究

摘要：

以Sol-Gel工艺制备的复合光敏凝胶材料具有负性光刻胶的性质,它是以金属有机源和β双酮基材料反应获得,敏感波长在紫外波段.在这一系列的光敏凝胶薄膜上,通过紫外光刻、双光束干涉、激光直接刻写等工艺结合显影工艺,可获得二维光栅结构,用于衍射光忖栅的制备.以ZrO2光敏凝胶光栅制备为例,介绍光敏凝胶光栅的制备工艺,通过制备工艺控制实现单元和多元光敏薄膜的制备和光栅等微结构的引入.

关键词： 光敏凝胶 光栅 薄膜

作者: 周斌 徐翔 刘春泽 徐超 张志华 吴广明 沈军

作者单位: 同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 393-396

在线出版日期: 2005-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）