波前功率谱密度(PSD)测量滤波器的设计

摘要：

在采用波前功率谱密度(PSD)评价大口径光学元件时,由于测得的原始数据受到测量系统引入的各种噪声和外界干扰的作用,会使检测精度下降.针对这个问题,必须引入带通滤波技术,对原始数据的有效滤波,可以减小带外的噪声分量和频谱混叠现象的影响.分别设计了无限脉冲响应(IIR)带通滤波器和有限脉冲响应(FIR)带通滤波器,通过模拟分析比较了两者的性能,得出在波前PSD用于大口径光学元件面形质量的评价时,采用FIR滤波器可以得到更高的测量精度.

关键词： 功率谱密度 傅立叶变换 带通滤波 光学检测

作者: 陈伟 姚汉民 伍凡 范斌 吴时彬 陈强

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院光电技术研究所,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 217-220

在线出版日期: 2005-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）