软X射线多层膜研究

摘要：

软X射线多层膜光学元件是X射线激光和惯性约束核聚变(ICF)实验中的重要器件,针对软X射线激光干涉实验的需要,开展了13.9nmX射线激光麦克尔逊干涉仪用Mo/Si分束镜的研究,得到了较高的反射率和透过率.为了拓展软X射线多层膜的应用范围,研制了软X射线超反射镜,取得了较好的结果,还研制了4.48nm短波长X射线高反射镜,并取得了初步的结果.

关键词： 软X射线 多层膜 分束镜 超反射镜

作者: 张众 王占山 王风丽 王洪昌 吴文娟 秦树基 陈玲燕

作者单位: 同济大学精密光学工程技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 425-428

在线出版日期: 2005-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）