基于哈特曼传感器的角锥棱镜高精度检测
角锥梭镜的角度误差和面形误差对出射光的影响都非常大,但目前常规的角锥棱镜误差检测方法中,往往都是忽略面形误差的存在,只考虑角度误差,这显然是不科学的.随着角锥棱镜在高新技术领域的广泛应用,对其面形和角度的加工有更高精度的要求.因此,对面形和角度误差同时进行高精度检测是高精度角锥棱镜检测的必然趋势.本文深入研究了经角锥梭镜后的波面重建,推导了波面特征与角锥棱镜误差参量之间的关系,提出了用哈特曼-夏克波前传感器同时检测高精度角锥棱镜角度误差和面形误差的技术方案,在试验中验证了其正确性和可行性.
角锥棱镜 直角误差 面形误差 哈特曼传感器 误差检测
李松 张金业
武汉大学电子信息学院,430079
国内会议
西宁
中文
161-165
2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）