温度对镀制精密光学薄膜的影响

摘要：

在精密光学膜量产的过程,温度对产品的光学指标、膜层牢固度、稳定性、重复性及一致性起到非常关键的作用.本文研究，1温度的影响，2如何使温度精确控制满足高精密膜的量产，3确保温度的均匀性，4减少监控片与工件的温差。

关键词： 精密光学薄膜 温度控制 光学指标 膜层牢固度

作者: 潘振强

作者单位: 广东肇庆振华真空机械有限公司,526060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届广东省真空学会学术研讨会

会议地点: 广东肇庆

会议语种:中文

页码: 63-64

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）