超硬涂层技术分析

摘要：

本文对提高超硬涂层的质量进行技术分析.采用真空镀膜新技术:孪生靶中频交流磁控溅射、偏压离子镀和离子源是沉积优质膜的基础.为适应高速切削、干切削和难加工材料的切削,在TiAlN的基础上添加更多的合金元素以提高涂层的抗氧化性、韧性和显微硬度.纳米超晶格复合膜和纳米晶-非晶结构的超硬复合膜的出现为设计新的超硬涂层开拓了崭新的领域.完善的和谐的先进沉积工艺是最终获得优质超硬膜的技术保证。

关键词： 真空镀膜 薄膜材料 超硬涂层 中频交流磁控溅射 偏压离子镀 沉积工艺

作者: 吴越侠 边振纶 吴大维

作者单位: 北京长城钛金有限公司,北京,100085 深圳森美真空镀膜有限公司,深圳,518132

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届广东省真空学会学术研讨会

会议地点: 广东肇庆

会议语种:中文

页码: 51-56

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）