类金刚石膜的性能及在工模具上的应用

摘要：

本文综述了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能以及在工模具上的应用情况。

关键词： 类金刚石膜 膜性能 工模具 物理气相沉积

作者: 代明江 林松盛 候惠君 李洪武

作者单位: 广州有色金属研究院,广州,510651

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届广东省真空学会学术研讨会

会议地点: 广东肇庆

会议语种:中文

页码: 46-50

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）