高反射膜的工艺研究及应用

摘要：

高反射膜是一种应用非常广泛的重要光学薄膜,在大都数的情况下,对反射膜的要求就是工作光谱内反射率尽可能的高,而在某些特殊场合,不仅要求反射率很高,而且还要求薄膜的吸收很小,因为透射光仍然有用处.对于这两种不同的用场,我们把高反射膜分为金属和介质的两大类.本文介绍，1金属分光膜2.多层全介质高反射膜3.镀制高反射膜的工艺要点。

关键词： 高反射膜 光学薄膜 金属分光膜 多层全介质高反射膜 镀膜工艺

作者: 卢志坚

作者单位: 广州志坤光电科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届广东省真空学会学术研讨会

会议地点: 广东肇庆

会议语种:中文

页码: 28-37

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）