MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜

摘要：

采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRCVD)法,BF3-H2-N2-Ar为反应气体,制备立方氮化硼薄膜.应用傅立叶红外光谱(FTIR),定性地研究通入的H2和N2流量对制备的立方氮化硼薄膜结构的影响.发现在BF3-H2-N2-Ar气体系统中,H2对立方氮化硼薄膜结构的影响比较明显,而N2的影响没有那么明显.并对MW-ECRCVD制备立方氮化硼薄膜的结构特性进行了初步分析。

关键词： 立方氮化硼薄膜 MW-ECR CVD 气体系统 微波电子回旋共振 化学气相沉积 傅立叶红外光谱

作者: 郜志华 陈光华 李志中 邓金祥 丁毅

作者单位: 北京工业大学,材料学院,北京,100022 北京工业大学,应用数理学院,北京,100022 兰州大学,物理学院,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国功能材料学术年会

会议地点: 敦煌

会议语种:中文

页码: 208-210

在线出版日期: 2006-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）