光学氢敏感WO3纳米薄膜的制备、光学性质及纳米结构研究

摘要：

在气敏传感器领域纳米光学气敏传感器是一个倍受关注的分支,纳米WO3薄膜由于具备气致变色效应,可作为一种性能良好的光学氢敏感薄膜材料.本文采用直流磁控溅射法制备WO3薄膜,对不同氧分压及退火处理对薄膜透光率的影响进行了分析,并采用XRD对WO3薄膜的晶体结构和颗粒尺寸进行了研究,得到了光学性能良好的WO3纳米薄膜.

关键词： WO3纳米薄膜 气致变色效应 DC溅射 透光率 光学性能

作者: 杨晓红 王新强 马勇

作者单位: 重庆大学,数理学院,重庆,400044;重庆师范大学,物理学与信息技术学院,重庆,400047 重庆大学,数理学院,重庆,400044 重庆师范大学,物理学与信息技术学院,重庆,400047

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国功能材料学术年会

会议地点: 敦煌

会议语种:中文

页码: 40-42

在线出版日期: 2006-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）