热处理工艺对Ag纳米薄膜的影响

摘要：

采用MBE在Si(100)衬底上制备Ag纳米薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)和傅立叶变换红外光谱仪对Ag纳米薄膜的形貌和红外透射谱进行研究.研究结果表明:随衬底温度的升高Ag薄膜的平均晶粒尺寸逐渐增大;随退火温度升高Ag薄膜的颗粒性明显,对红外吸收增强,且吸收带出现宽化.

关键词： Ag薄膜 退火 扫描电子显微镜 热处理工艺

作者: 涂宏庆 李英兰 张艳华 孟祥敏

作者单位: 北京理工大学,物理系,北京,100081 中科院理化技术研究所,北京,100101

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国功能材料学术年会

会议地点: 敦煌

会议语种:中文

页码: 852-853,857

在线出版日期: 2006-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）