溅射法生长ZnMnO薄膜的结构和光学性质

摘要：

用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出了ZnMnO多晶薄膜.用分光光度计和X射线衍射仪分别研究了薄膜的结构和光学特性以及退火对他们的影响.结果表明:ZnMnO多晶薄膜具有(0002)高度择优取向,退火后明显改善了薄膜的结晶质量.在室温下观察到了薄膜的紫光(398nm)和绿光发射(490nm).退火后,绿光发射峰强度减弱.

关键词： ZnMnO多晶薄膜 射频磁控溅射法 光致发光 绿光发射峰 光学性质

作者: 吴小惠 王卿璞

作者单位: 山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国功能材料学术年会

会议地点: 敦煌

会议语种:中文

页码: 306-307,310

在线出版日期: 2006-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）