化学气相沉积制备钨铼合金

摘要：

本文以ReF6、WF6以及H2为原料,用化学气相共沉积的方法,成功的在铜基片表面沉积出钨铼合金.实验分析表明:沉积层结构为单相均匀固溶体.沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同.改变反应气体中WF6、ReF6相对含量可实现膜层成分可控.采用化学气相沉积法沉积钨铼等难熔金属合金,沉积纯度高,设备简单沉积速度快,在高温抗烧蚀涂层及耐腐蚀涂层方面具有广泛的应用前景.

关键词： 金属涂层 钨铼合金 气相沉积

作者: 马捷 侯艳艳 张好东 王从曾

作者单位: 北京工业大学材料科学与工程学院功能材料教育部重点实验室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国物理及其应用学术研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 185-190

在线出版日期: 2006-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）