电子束聚焦的误差分析与研究

摘要：

本文对电子束聚焦的误差进行了分析与研究。文章通过对不同实验方法的多组实验数据的分析处理,提出了使测量误差最小的方法。

关键词： 电子束聚焦 电子磁聚焦 聚焦误差

作者: 江洪建 盛飞 周惠君

作者单位: 南京大学物理系,江苏·南京,210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国物理及其应用学术研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 120-125

在线出版日期: 2006-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）