会议专题

高科技之光——同步辐射

本文对同步辐射进行了研究。文章指出,同步辐射光源是理想的光刻光源,同步辐射将成为21世纪科学技术发展的有力工具。文章阐述了同步辐射的产生及特性,介绍了同步辐射光源的发展和应用。

同步辐射 辐射光源 光刻技术

李炘琪

保山师专物理系,云南·保山,678000

国内会议

第三届全国物理及其应用学术研讨会

昆明

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16-19

2006-07-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)