电化学法研究硅片清洗过程

摘要：

关键词： 电化学法 硅片清洗 集成电路制作

作者: 张树永 崔龙飞 郭永榔 曹宝成 于新好

作者单位: 山东大学化学学院(济南) 山东大学光电子材料与器件研究所(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电化学会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: A097

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）