梳齿式微硅加速度计的结构失效及设计改进

摘要：

探讨了MEMS梳齿电容式加速度计的加工工艺条件和版图设计规则,根据实际加工的样片,归纳了由于不合理的工艺和版图细节而产生的包括结构断裂、表面粘附、键合分层失效造成的”糊金”等失效现象,并对其进行机理研究和优化设计.通过合理规划工艺条件和版图布局,改进的结构经实验验证,有效避免了上述失效问题.

关键词： 微硅加速度计 结构断裂 表面粘附 分层失效 优化设计

作者: 王益 董景新 刘云峰 刘冬宁

作者单位: 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 北京大学,微电子学研究所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会控制与应用第十二届学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 543-548

在线出版日期: 2006-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）