双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列的设计与制作

摘要：

本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.

关键词： 非制冷红外成像 光学读出 微悬臂梁阵列 单层膜结构 双材料梁

作者: 董凤良 潘亮 张青川 伍小平 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖

作者单位: 中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230037 中科院微电子研究所,北京,100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年实验力学在国防科研领域的应用研讨会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 35-42

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）