温度和氢氮比对MOPCVD-Ti(CN)涂层性能的影响

摘要：

文章叙述了采用金属有机物四异丙基钛（Ti（OC3H7）4）为钛源进行MOPCVD法沉积Ti（CN）涂层。并对涂层进行了其显微硬度测量和X射线衍射（XRD）测试分析。结果表明，沉积温度和气体组成对Ti(CN)涂层的沉积速率、显微硬度、涂层结构都产生一定的影响。

关键词： MOPCVD 四异丙基钛 Ti(CN)涂层 沉积温度 氢氮比

作者: 石玉龙 彭红瑞

作者单位: 化工学院等离子体表面技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 756～758

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）