溶胶电泳沉积法制备PZT压电薄膜

摘要：

用溶胶电泳沉积法制备出了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电薄膜,分析了溶胶浓度和电极电压等因素对薄膜制备的影响.实验结果表明:浓度为0.2～0.3mol/L,pH值为3.5～4的溶胶适于电泳,外加电压约为1V左右可以在阴极ITO玻璃上得到纯净、钙钛矿结构的PZT薄膜.

关键词： 溶胶电泳沉积法 PZT压电薄膜 溶胶浓度 电极电压 钙钛矿结构

作者: 魏长松 周静 徐玲芳 陈文

作者单位: 武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉,430070

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 407-409

在线出版日期: 2005-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）