溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的光电子能谱研究

摘要：

采用改进的溶胶-凝胶法配制了(Bax,Sr1-x)TiO3(BST)溶胶.利用旋转涂覆工艺在SiO2/Si衬底上甩胶,在不同的热处理条件下制备出不同Ba/Sr比的BST薄膜.SEM测试结果表明BST薄膜断面平整致密,均匀,无裂纹;化学组态和结合能分析表明BST薄膜的价态为钙钛矿结构的价态.

关键词： 钛酸锶钡薄膜 光电子能谱 溶胶凝胶法 BST薄膜 钙钛矿结构

作者: 刘娟妮 方瑜 肖定全 朱建国

作者单位: 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 146-149

在线出版日期: 2005-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）