PZT厚膜的制备及其热释电性能研究

摘要：

相比薄膜而言,厚膜具有更明显的电学效应.PZT厚膜材料制成的器件不仅工作电压低、使用频率高、能与半导体集成电路兼容,而且电学性能优异(与体材料器件相近).PZT厚膜材料是典型的热释电材料,作者结合自己的研究工作分别从制备工艺、热释电性能的测试以及应用等方面,介绍了目前PZT厚膜材料在热释电器件的研究进展以及存在的问题

关键词： PZT厚膜 热释电材料 溶胶凝胶 电学性能 制备工艺

作者: 蒲朝辉 刘洪 徐鹏 蔡露 肖定全 朱建国

作者单位: 四川大学材料科学系,四川,成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 481-484

在线出版日期: 2005-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）