一种SOL-GEL制备钛酸锶钡(BST)薄膜新路线的工艺研究
研究利用钡、锶的碳酸盐代替醋酸盐,采用sol-gel技术制备Ba1-xSrxTiO3(BST)铁电薄膜的工艺过程.以碳酸钡、碳酸锶和钛酸四丁酯作原料,采用sol-gel工艺制备BST薄膜,对比研究了用两种混合溶剂制胶和制膜的工艺.通过XRD分析了薄膜的结构,用AFM测定表面形貌,结果表明,采用碳酸盐作为钡、锶的原料,用冰醋酸和乙二醇甲醚混合液作溶剂,可配制出澄清透明、能长时间放置的溶胶,并制备出膜厚均匀、表面光洁致密、没有裂纹的全钙钛矿相的BST薄膜.
BST薄膜 溶胶凝胶法 薄膜制备工艺 铁电薄膜 表面形貌 钙钛矿相
李桂英 余萍 肖定全 王欢
四川大学材料科学系,成都,610064
国内会议
成都
中文
460-463
2005-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）