衬底处理方式对电化学法制备的BaWO4多晶膜形貌的影响

摘要：

采用恒电流型电化学工艺,控制适当的电化学反应条件,分别在酸腐蚀的钨片和机械抛光的钨片上制备了BaWO4多晶膜.运用XRD,SEM测试手段分析表征了产物的晶相和表面形貌,结果表明,在相同的电化学条件下,机械抛光这种衬底处理方式可以较为有效地改善BaWO4多晶膜的表面平整度和均匀性.

关键词： 电化学法 BaWO4多晶膜 表面形貌 衬底处理 机械抛光

作者: 金晓玲 肖定全 余萍 陈连平 杨祖念 毕剑

作者单位: 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 456-459

在线出版日期: 2005-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）