不同底层(Ag, Ti, Cu, Pt)对”Fe/Pt”n多层膜磁性的影响
利用磁控溅射的方法,在热玻璃基片上制备了”Fe/Pt”n多层膜,经不同温度真空热处理后,得到L10有序结构的FePt薄膜(L10-FePt).实验结果表明:”Fe/Pt”n多层膜结构可使FePt薄膜的有序化温度由500℃降到350℃,350℃退火20min后其平行膜面矫顽力可达到421.8kA·m-1.同时以Ag,Ti,Cu和Pt做底层,利用”Fe/Pt”n多层膜结构制备了FePt薄膜,磁性和X射线衍射结果表明:与”Fe/Pt”n多层膜相比,四种底层均没有进一步降低FePt薄膜的有序化温度,其中Ag做底层对”Fe/Pt”n多层膜退火后的平行膜面矫顽力影响较小,但能够提高其垂直磁各向异性;其他底层均会降低”Fe/Pt”n多层膜在高温退火时的平行膜面矫顽力,且对其垂直磁各向异性无改善作用.
FePt合金薄膜 L10有序结构 多层膜结构 磁控溅射 垂直磁各向异性
冯春 李宝河 滕蛟 于广华
北京科技大学材料物理系,北京,100083 北京科技大学材料物理系,北京,100083;北京工商大学数理部,北京,100037
国内会议
长沙
中文
752-756
2005-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）