射频磁控溅射Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜表层结构研究
用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上,沉积了Ba.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,随后对其进行常规晶化和快速晶化,用XPS,GXRD和AFM研究了薄膜表层的结构特征.XPS表明,常规晶化的BST薄膜表层约3nm～5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST,随着温度的升高该厚度增加;而快速晶化时,该厚度减薄至1nm内,随着温度的升高没有明显增厚.元素的化学态表明非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的含碳污染物(如CO2等),而与吸附的其他元素(如吸附氧等)对表层的影响有关.GXRD和AFM表明,致密的表面结构能有效地阻止吸附元素在BST膜体中的扩散,从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.
BST 表层 结构 晶化 钙钛矿结构
廖家轩 杨传仁 张继华 陈宏伟 符春林 唐章东 冷文建
电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054
国内会议
成都
中文
172-176
2005-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）