碳含量对TiAlCN薄膜组织结构及摩擦性能的影响
TiAlCN薄膜以其优异的综合性能获得越来越多的关注.利用反应磁控溅射,通过调节TiAlC复合靶中石墨体积比例,获得不同碳含量的TiAlCN薄膜.研究表明随着复合靶中石墨增加,TiAlCN薄膜中C含量随之增加,硬度先增加后减小,当石墨体积比为50％,硬度获得最大值.组织结构由柱状晶结构依次转变为粗纤维结构、细纤维结构和玻璃态结构.组织中的晶体主要是面心结构的(Ti,Al)(C,N),并有少量六方结构的(Al,Ti)(C,N),都存在明显的结构取向;摩擦试验表明,TiAlCN薄膜的摩擦系数随薄膜中C含量的增加而减少,摩擦副磨球的磨损量相应减少,TiAlCN薄膜摩擦表面也从严重磨损向轻微逐渐过渡.C含量的增加具有明显的减摩耐磨作用.
TiAlCN薄膜 磁控溅射 摩擦性能 碳含量 组织结构
张旭海 蒋建清 陈锋 许盼盼 谈荣生 杨凯 陈莹
东南大学,江苏,南京,210096
国内会议
南京
中文
44-49
2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）