关键词： 电弧离子镀 脉冲偏压 薄膜 氮化钛
作者: 李正阳 朱武飚 张勇 曹尔妍
作者单位: 科学院力学研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 182～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）