准分子激光成像系统的研究

摘要：

本文针对微加工系统要求高分辨率的成像系统的特点,采用折射型系统,利用最小二乘法,校正球差、彗差和畸变,设计一个缩小倍率15:1的投影成像物镜,满足了掩模投影成像加工系统的要求.

关键词： 准分子激光 分辨率 成像系统 掩模投影加工

作者: 杜国军 付利平 王咏梅 王继红 杨松 王英鉴

作者单位: 中国科学院空间科学与应用研究中心,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议

会议地点: 宜昌，重庆

会议语种:中文

页码: 561-564

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）