敏感层100μm硅探测器的研制

摘要：

本文简单介绍了微机械工艺硅薄层探测器的制备过程,对Ф12mm、敏感层100μm的硅PIN探测器进行了测试,包括PIN结全耗尽电压、噪声、能量分辩,漏电流等,并与ORTEC公司同类产品进行了比较,证明该探测器接近或达到国外同类产品的水平.

关键词： 硅探测器 制备工艺 PIN结

作者: 田大宇 邹积清 施伟红 邹鸿 宁宝俊 马连荣 孟宪馨 邓珂 王玮 罗葵 张录 陈鸿飞

作者单位: 北京大学微电子学研究院 北京大学空间物理与应用技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议

会议地点: 宜昌，重庆

会议语种:中文

页码: 597-598

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）