微桥式温湿度传感器研究

摘要：

基于MEMS技术设计的温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,集成传感器可提高器件的一致性,可靠性,易形成批生产能力.本文从理论上分析了热电原理测量空气湿度的可行性,引入一个与湿度呈单调递减的关系函数,消除了外界温度对湿度测量的影响.设计和制作了微空气桥温湿传感器,研究了导热检测湿度测量方法.文章重点对湿度部分的测量结果进行了分析,实验证实所设计温湿传感器具有良好性能,相对湿度测量精度可达2﹪.

关键词： MEMS 温湿度传感器 微空气桥 导热检测法 热电原理

作者: 方震 赵湛 王奇 曾欢欢 张博军

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第十九届年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 573-578

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）