纳米材料及其在真空微电子器件中的应用

摘要：

本文介绍了纳米材料的种类及其在扫描微探针、异质结、FED、负离子发生器、自持放电型气体传感器以及微机械执行器等方面的应用.

关键词： 纳米材料 真空微电子器件 FED 气体传感器 负离子发生器

作者: 朱长纯

作者单位: 西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 24-25

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）