磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究

摘要：

在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺陷;在Pt/Ti/SiO2/Si结构衬底上采用射频磁控溅射沉积锆钛酸铅薄膜(Pb(Zr1-xTix)O3,PZT),经退火后结晶形成具有热释电性质的钙钛矿结构薄膜,热释电系数达到1.1531×10-8Ccm-2k-1.

关键词： 直流磁控溅射 PZT薄膜 铂/钛复合金属薄膜 X射线衍射 原子力显微镜 射频磁控溅射

作者: 郭杰 王静宇 李振豪

作者单位: 昆明物理研究所,昆明,650223

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 15-20

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）