高温超导红外探测器电极制备

摘要：

本文简要的介绍了使用直流磁控溅射机进行高温超导探测器的电极制备,对电极制备过程中的几个关键问题进行了探讨,确定了最佳工艺条件,制备出的电极质量良好,又保持了原超导膜的超导性.采用该电极结构制备的单元及多元高温超导探测器已有较好的光电性能.

关键词： 多元高温超导 超导性 电极制备 红外探测器

作者: 徐双喜 黄江平 黄宗坦 曾群德

作者单位: 昆明物理研究所,昆明,650223

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 12-14

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）