混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用
铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一，本文着重介绍了“128×128”混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜的制备和选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)及研制结果.展示了UFPA的应用前景.
焦平面 非制冷探测器 铟膜 铟柱
黄江平 杨春丽 黎力 袁斌
昆明物理研究所,云南,昆明,650223
国内会议
厦门
中文
6-11
2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）