集成电路静电放电电压与注入能量的相关性研究

摘要：

为了研究静电放电注入时损伤电压与损伤能量之间的关系,本文进行静电放电电压与注入的平均峰值能量之间的对应关系研究.实验采用静电放电模拟器在人体模型下对几种集成电路器件进行注入放电,通过Agilentinifniium示波器记录并计算得到静电放电注入时相应的能量波形,取五次能量峰值的平均值记为该电压下注入的峰值能量,采用曲线拟合的方法,得到注入的静电电压与平均峰值能量之间的关系表达式.

关键词： 集成电路器件 静电放电 注入电压 平均峰值能量 曲线拟合

作者: 杨洁 刘尚合 国海广 谭志良

作者单位: 军械工程学院,静电与电磁防护研究所,河北,石家庄,050003

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会静电专业委员会第十二届学术年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 77-80

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）