低温水泵在超高真空排气系统中的应用

摘要：

本文介绍了一种新型超高真空辅助设备-低温水泵.采用低温水泵与分子泵、离子泵相结合的方式,应用于大功率微波器件超高真空排气系统中,可提高系统对水蒸气的抽气能力,使管子获得所需要的清洁超高真空.其抽气机理及特性在文中有所论述.

关键词： 低温水泵 水蒸气 超高真空 排气系统

作者: 周健勇 邓峰 马长胜 魏作振

作者单位: 中国科学院电子学研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 64-66

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）