30kW真空炉的技术升级

摘要：

本文介绍了一种电真空用立式真空炉的技术升级方法.它仅保留了原设备的炉体和炉丝加热部分,重新配置了一套以分子泵为主抽真空泵的半无油真空系统,替代了原设备的油扩散泵,极大地提高了炉膛的洁净度.配置了自动PID编程温度控制系统,升级了原设备的手动控温系统,提高了真空炉的温度控制精度和智能化水平,同时也提高了系统的可靠性.

关键词： 真空炉 可编程PID调节器 温度控制

作者: 成永东 唐涛 蔺晋成

作者单位: 电子科技大学物理电子学院,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 57-60

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）