日本的氦质谱检漏仪现状

摘要：

随着半导体工业的迅猛发展,对真空设备的真空度要求越来越高,对检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应的提高.处在亚洲最大的真空设备生产中心,日本的氦质谱检漏仪生产商在完善原有产品的同时,还在向高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等方向发展.本文主要介绍日本的氦质谱检漏仪生产商及其产品,仅供国内的同行参考.

关键词： 氦质谱检漏仪 日本 真空检漏技术

作者: 初明璋

作者单位: 中国科学院电工研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 50-53

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）