中科科仪真空检漏事业的发展和展望

摘要：

本文主要论述中科科仪在四十余年中研制的氦质谱检漏仪及辅助工艺设备的简单历程和主要检漏仪的性能介绍,谈及了今后的发展趋向和有自主知识产权的先进产品.

关键词： 氦质谱检漏仪 真空检漏 辅助工艺设备

作者: 周小弟

作者单位: 北京中科科仪技术发展有限责任公司,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 41-44

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）