大功率速调管冷却水套内水蒸气的影响

摘要：

本文通过大功率速调管真空烘烤排气过程中,对外真空系统真空度与时间的变化曲线对比,分析了由于速调管水套内冷却水处理不彻底而给真空系统带来的不良后果,同时也会给速调管的工作性能带来不良的影响.

关键词： 大功率速调管 真空烘烤 排气 冷却水

作者: 赵金玉 赵海鹏 邓峰 魏作振

作者单位: 中国科学院电子学研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空技术应用学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 29-32

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）