MEMS技术在微小型探测系统中的应用

摘要：

微机电系统(Microelectromechanicalsystem)是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术,目前,其研究领域已扩展到了射频与微波领域,并有继续向毫米波频率扩展的趋势.本文结合RFMEMS技术研究的最新进展,研究了如何利用最新的RFMEMS技术设计微小型探测系统,以实现探测系统的小型化、低功耗和高性能.

关键词： 微机电系统 微小型探测系统 毫米波 微波

作者: 张俊峰 李兴国 娄国伟

作者单位: 南京理工大学毫米波光波近感技术研究所,南京,210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005全国微波毫米波会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 372-375

在线出版日期: 2006-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）