HEPA/ULPA过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论

摘要：

当前对HEPA过滤器测试方法主要有:(1)DOP法:此法是以光度计作检测,测试用气溶胶必须是单分散(0.3μm)的DOP或其替代的DOS等液态物质所发生的.此法灵敏度不如粒子计数法,只能用于效率99.99﹪(0.3μm)及99.999﹪(0.3μm)的HEPA过滤器的测试.(2)粒子计数法此法是以离散粒子计数器(DPC)作为检测仪器,测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质,选择范围较宽,常用多分散气溶胶,如DOP或其替代的DOS等液态物质所发生的,亦常用SPL(聚苯乙烯乳胶球)固体物质所发生的0.1～0.2μm粒径的气溶胶.此法灵敏度较高,目前主要用于ULPA过滤器其η≥99.999﹪(0.1～0.2μm)的测试,当然亦可用于HEPA过滤器的测试.本文对次进行介绍。

关键词： HEPA过滤器 ULPA过滤器 测试方法 光度计 粒子计数法 检漏方法

作者: 严德隆

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际(广州)洁净技术论坛

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 51-57

在线出版日期: 2004-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）