基于MEMS的微流体技术研究

摘要：

随着微电子机械系统(MEMS)技术迅速发展,微流体技术逐渐成为MEMS研究的热点之一.本文回顾了近十年来微流体技术的研究进展情况,主要包括微流体装置及组件、微流体系统等;并指出了微流体技术面临的一些困难.最后对微流体技术的发展进行了展望.

关键词： 微电子机械系统 微流体技术 微流体装置

作者: 王卫东 贾建援

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院,陕西,西安,710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国测控、计量、仪器仪表学术年会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 311-316

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）