关键词： 电光微探针 电光取样 高速电信号检测
作者: 贾刚 葛元庆 罗彦文
作者单位: 大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室(长春)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 556～557
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）