用于无线通信的微机械电感研究

摘要：

本文给出了利用MEMS方法制作微型电感的初步研究结果.在分析了影响平面螺旋线圈电感值的主要因素,计算了几种不同几何参数下平面螺旋线圈的电感值后,给出了一种新型的微机械平面电感设计方案.

关键词： 电感 微机械电感 平面螺旋线圈 微电子机械系统 MEMS

作者: 丁勇 刘泽文 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 227-229

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）