退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响
本文用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用Sol-Gel工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备出Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)铁电薄膜,然后在650-800℃下对BST薄膜进行退火,研究退火温度对钛酸锶钡铁电薄膜的影响.X射线衍射分析表明:退火温度在750℃以上时,BST薄膜转变成较为完整的ABO3型钙钛矿结构;SEM分析表明:750℃热处理的薄膜颗粒较大,且颗粒生长较好;阻抗分析仪测试表明:750℃退火处理的薄膜介电性能最佳;TEM分析表明:750℃晶粒发育完善、清晰,晶粒与晶粒之间比较紧密,且存在微畴区域.
铁电薄膜 退火温度 X射线衍射 介频谱
韦其红 赵振华 付兴华 侯文萍
济南大学材料科学与工程学院,250022 济南市城建材料开发服务中心,250032
国内会议
咸阳
中文
92-96
2006-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）