彩显管GR计的真空计量与电离真空计的比对校准

作者依据ISO/DIS3568的有关规定,建立了一套以FB-1型副标准电离规为参考规的超高真空动平衡比对校准系统.经测试,该系统的各项性能指标均优于国家规定的真空计量二等标准器具的要求.至今,我们已利用这套系统:(1)对公司现有的3种型号电离真空计开展了比时校准;(2)时公司生产的3种管型所用GR计进行了真空计量;(3)对残气分析用四极质谱计的总压力输出值进行了标定.本文简介了比对校准的原理、系统的结构特点、校准方法和性能指标的实测结果;并对本系统在GR计的计量和电离计校准方面的应用实例作了介绍。
真空计量 比对校准 副标准规 校准系数 彩显管GR计
汤建中 孙公方 张伟 钱永生
上海永新彩色显像管股份有限公司,200237
国内会议
上海
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154-162
2004-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)