等离子显示器(PLASMA DISPLAY PANEL)中MgO(氧化镁)蒸镀工艺的进展--真空电子束蒸镀与MgO(氧化镁)材料

摘要：

本文评述了近年来PDP工艺中的MgO(氧化镁)保护膜制作的技术进展,重点讨论了电子束蒸镀法与其它保护膜制作工艺的区别以及影响电子束蒸镀的各种因素及真空技术的应用.另外,也讨论了电子束蒸镀法使用靶材--MgO(氧化镁)的各种物理特性等。

关键词： 等离子显示器 电子束蒸镀 真空电子束蒸镀 氧化镁

作者: 盛庭

作者单位: 上海松下等离子显示器有限公司,技术部

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 143-148

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）